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压力传感器芯片SCA2095原理及MEMS硅压阻式结构介绍

发布时间:2024-10-05 作者: 华体育网页版登录入口

  跟着信息处理技能的逐渐的提高,的研发与出产的根本工艺的稳定性和可靠性也发生了改造,这在某些特定的程度上推动了其使用开展(使用)。那么,关于的常识,咱们又了解多少呢?小编经过搜集整理资料,对有关压力传感器

  从资料上讲,压力传感器芯片可大致分为:单晶硅的、多晶硅的、陶瓷的、水晶的、金属的、聚酰亚胺的等等;

  从原理上讲,压力传感器芯片可大致分为:应变式、压阻式、电容式、谐振式等(体重计上一般用的是应变片,应变片一般多为应变式或压阻式)。

  压力传感器芯片SCA2095是使用于使用压阻效应,选用全桥规划的传感器(例如压力传感器、应力计、加速度计等)的信号调度电路集成的芯片。

  SCA2095选用EEPROM进行校准、温度补偿,并具有传感器输出维护和确诊的功用。还能够更加好调度增益和传感器电桥偏移,能批改灵敏度差错。

  SCA2095芯片的外部数字接口选用三线制,即串行时钟SCLK、数据输出DO、数据输入DI。经过CPU的操作,设置零位偏移寄存器、温度寄存器、零点温度补偿寄存器、输出基准寄存器、增益温度补偿寄存器等。这些寄存器中的值经过D/A转换器变成模拟量叠加在调度电路中,然后改进了传感器特性。

  MEMS硅压阻式压力传感器芯片选用四周固定的圆形的应力硅薄膜内壁,选用MEMS技能直接将四个高精密半导体应变片刻制在其外表应力最大处,组成惠斯顿丈量电桥,作为力电改换丈量电路的,将压力这个物理量直接改换成电量,其丈量精度能达0.01-0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图所示,

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